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介绍
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电阻式半导体气敏元件的敏感部分是金属氧化物半导体微结晶粒子烧结体,它是由以金属氧化物为基体材料,添加不同物质在高温下绕结而成的,在烧结体的内部还装有测定电阻和用金及铂材料制作的电极,气敏元件电阻值的变化是伴随着金属氧化物半导体表面对气体的吸附及释放而发生的。为了加速这种反应,通常在气敏元件中设置有加热器。加热器一般为加热丝结构,有的直接烧结在金属氧化物烧结体内,有的则枷在烧结体的外部。在气敏元件的外部还装有不锈钢丝网罩对元件进行保护。
图:Sno2气敏元件结构
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