1–2 motorola 传感器 设备 datawww.motorola.com/半导体
质量 和 可靠性 — overview
一个 主要的 目标 的 这 生产 循环
从 rigid 新当选的 inspection 的 片 部分 和 材料,
至 stringent 优于 质量 verification, 这 motorola
组装 和 处理 流动 是 encompassed 用 一个 elaborate
系统 的 测试 和 inspection stations; stations 至 确保 一个
步伐-用-步伐 adherence 至 prescribed 程序. 这个
生产 这 高 水平的 的 质量 为 这个 motorola 是
知道 . . . 从 开始 至 完成.
作 illustrated 在 这 处理 流动 overview, 每 主要的
制造 步伐 是 followed 用 一个 适合的 在-处理
质量 inspection 至 insure 产品 conformance 至
规格. 在 增加, statistical 处理 控制 (s.p.c.)
技巧 是 使用 在 所有 核心的 处理 至 insure
处理 设备 是 有能力 的 producing 这 产品 至
这 目标 规格 当 降低 这 variability.
质量 控制 在 薄脆饼 处理, 组装, 和 最终 测试
impart motorola 传感器 产品 和 一个 水平的 的 可靠性 那
容易地 超过 almost 所有 工业的, 消费者, 和 军队
(所需的)东西.
补偿 传感器 流动 chart
激光器 i.d.
BINNING
审查
最初的
OXIDATION
p+ photo
RESIST
P+
DIFFUSION
电阻
PHOTO
RESIST
CAVITY
PHOTO
RESIST
消逝 sort
和 加载
gel fill
和 cure
电阻
注入
薄的-影片
metal dep.
薄脆饼
最终
VISUAL
CELL
标记
100%
函数的
测试
发射级
PHOTO
RESIST
薄的-影片
metal p.r.
类
探查
消逝 bond
和 cure
最终
VISUAL
发射级
DIFFUSION
联系
PHOTO
RESIST
薄脆饼
至 薄脆饼
BOND
WIREBOND
包装 和
SHIP
最终
OXIDATION
FRONT
METAL
1234
5
67 9
10
11
13
15
16
17 18
19
20 21
22
23
8
METAL
PHOTO
RESIST
12
CAVITY
ETCH
14
锯 和
WASH
激光器
修整
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