ADXL320
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theory 的 运作
这 adxl320 是 一个 完全 acceleration 度量 系统
在 一个 单独的 大而单一的 ic. 这 adxl320 有 一个 度量
范围 的 ±5
g
. 它 包含 一个 polysilicon 表面-micromachined
传感器 和 信号 conditioning 电路系统 至 执行 一个 打开-
循环 acceleration 度量 architecture. 这 输出 信号
是 相似物 电压 那 是 均衡的 至 acceleration. 这
accelerometer measures 静态的 acceleration forces, 此类 作
gravity, 这个 准许 它 至 是 使用 作 一个 tilt 传感器.
这 传感器 是 一个 polysilicon 表面-micromachined 结构
建造 在 顶 的 一个 硅 薄脆饼. polysilicon springs suspend 这
结构 在 这 表面 的 这 薄脆饼 和 提供 一个 阻抗
相反 acceleration forces. deflection 的 这 结构 是
量过的 使用 一个 差别的 电容 那 组成 的
独立 fixed plates 和 plates 连结 至 这 移动的
mass. 这 fixed plates 是 驱动 用 180° 输出-的-阶段 正方形的
waves. acceleration deflects 这 beam 和 unbalances 这
差别的 电容, 结果 在 一个 输出 正方形的 波 谁的
振幅 是 均衡的 至 acceleration. 阶段-敏感的
demodulation 技巧 是 然后 使用 至 rectify 这 信号 和
决定 这 方向 的 这 acceleration.
这 demodulator’s 输出 是 amplified 和 brought 止-碎片
通过 一个 32 kΩ 电阻. 这 用户 然后 sets 这 信号
带宽 的 这 设备 用 adding 一个 电容. 这个 过滤
改进 度量 决议 和 helps 阻止 aliasing.
效能
相当 比 使用 额外的 温度 补偿
电路系统, 革新的 设计 技巧 有 被 使用 至 确保
高 效能 是 建造-在. 作 一个 结果, 那里 是 neither
quantization 错误 也不 nonmonotonic 行为, 和
温度 hysteresis 是 非常 低 (典型地 较少 比 3 m
g
在
这 −20°c 至 +70°c 温度 范围).
图示 10 显示 这 零
g
输出 效能 的 第八 部分
(x- 和 y-axis) 在 一个 −20°c 至 +70°c 温度 范围.
图示 13 demonstrates 这 典型 敏锐的 变换 在
温度 为 供应 电压 的 3 v. 这个 是 典型地 更好的
比 ±1% 在 这 −20°c 至 +70°c 温度 范围.
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