1–7motorola 传感器 设备 数据 www.motorola.com/半导体
至 insure 那 硅 压力 传感器 是 设计 和
制造的 为 可靠性, 一个 在-depth insight 在 what
mechanisms 导致 particular failures 是 必需的. 它 是 safe 至
say 那 除非 一个 生产者 有 一个 clear understanding 的
everything 那 能 go wrong 和 这 设备, 它 不能
设计 一个 设备 为 这 最高的 可靠性. 图示 2 提供 一个
看 在 这 传感器 运行 concerns 为 一个 多样性 的
潜在的 用法 产品. 这个 信息 是 使用
当 developing 这 失败 模式 和 影响 分析
(fmea). 这 fmea 然后 serves 作 这 必备资料 那
demonstrates 所有 设计 和 处理 concerns 有 被
addressed 至 提供 这 大多数 可依靠的 approach. 用 下面-
standing 如何 至 设计 产品, 控制 处理, 和
eliminate 这 concerns raised, 一个 可依靠的 产品 是 达到.
accelerated 生命 测试
它 是 非常 difficult 至 assess 这 可靠性 statistics 为 一个
产品 当 非常 few 或者 非 failures 出现. 和 费用 作 一个
predominant 因素 在 任何 工业的 设置 和 时间 的 这
utmost 重要, 这 可靠性 测试 必须 是 优化.
optimization 的 可靠性 测试 将 准许 这 最大
数量 的 信息 在 这 产品 正在 测试 至 是
gained 在 一个 最小 数量 的 时间, 这个 是 accomplished 用
使用 accelerated 生命 测试 技巧.
一个 关键 underlying assumption 在 这 用法 的 accelerated
生命 测试 至 估计 这 生命 的 一个 产品 在 一个 更小的 或者
名义上的 压力 是 那 这 失败 mechanism encountered
在 这 高 压力 是 这 一样 作 那 encountered 在 这
名义上的 压力. 这 大多数 frequently 应用 accelerated
自然环境的 压力 为 半导体 是 温度, 它
将 是 briefly explained here 为 它的 utilization 在 deter-
mining 这 存在期 可靠性 statistics 为 硅 压力
传感器.
包装:
Integrity
镀层 质量
维度
热的 阻抗
机械的 阻抗
压力 阻抗
媒介 兼容性
gel:
Viscosity
热的 系数 的 expansion
permeability (diffusion x solubility)
改变 在 材料 或者 处理
Height
Coverage
统一
adhesive properties
媒介 兼容性
gel aeration
Compressibility
消逝
敷金属:
lifting 或者 peeling
排成直线
Scratches
Voids
激光器 修整
厚度
步伐 coverage
联系 阻抗 integrity
使牢固结合 线:
力量
Placement
height 和 循环
大小
材料
bimetallic contamination
(kirkendall voids)
nicking 和 其它 损坏
一般 质量 &放大; workmanship
diaphragm:
大小
厚度
统一
Pits
排成直线
Fracture
passivation:
厚度
机械的 defects
Integrity
统一
leads:
材料 和 完成
镀层 integrity
可焊性
一般 质量
力量
Contamination
Corrosion
Adhesion
电的 效能:
continuity 和 shorts
参数 稳固
参数 效能
温度 效能
温度 稳固
长 期 可靠性
存储 降级
susceptibility 至 辐射 损坏
设计 质量
消逝 连结:
统一
阻抗 至 机械的 压力
阻抗 至 温度 压力
Wetting
adhesive 力量
cohesive 力量
处理 控制
消逝 方向
消逝 height
改变 在 材料 或者 处理
媒介 兼容性
Compressibility
设计 改变
材料 或者 处理
改变
fab &放大; 组装 cleanliness
表面 contamination
foreign 材料
scribe defects
diffusion defects
oxide defects
图示 2. 处理 和 产品 variability concerns 在 可靠性 测试
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标记:
Permanency
Clarity
传感器 可靠性 concerns
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